一、SF6设备的泄漏监测
　　漏气是SF6断路器和GIS的致命缺陷，设备的密封性能是考核产品质量的关键指标之一，所以十分重要。
　　检漏分定性和定量测量。定性测量一般均用高灵敏度探头探测设备规定的漏点，以声光报警，其特点是可以正确定位。GIS的常见漏气点有: 焊缝、法兰结合面、充气嘴和压力表等; SF6断路器，易漏部位主要是:
　　　1、对220kV SF6高压断路器，各检测口、焊缝、SF6气体充气嘴、法兰连接面、压力表连接管和滑动密封底座;
　　　2、对35kV和10 kV SF6断路器，SF6气体充气嘴、操作机构、导电杆环氧树脂密封处及压力表连接管路。
　　定量测量有挂瓶检漏法、整机扣罩法和局部包扎法。
　　判断标准为年漏气率应不大于1%，或按制造厂的标准。对用局部包扎法检漏的，也可按每个密封部位包扎后历时5小时，测得的SF6含量应不大于30ppm的标准，但这种测量比较复杂繁琐。随着电子技术的进步，当前市场上已拥有先进的、高灵敏度的、智能化的、轻小和操作方便的仪器仪表，可以直接定量测量ml/sec、ppm或gm/yr非常方便。此外，建议选用无放射性源和无压仪器，因这类仪器使用安全方便，像LDD2000型检漏仪等均属比较理想的仪器。

　二、运行中气体水份含量的测试及控制
　　运行中气体水份含量的测试及控制是SF6设备运行维护的主要内容。SF6气体中的水份，特别是在GIS中绝缘部件上结露时，会使绝缘件的绝缘强度大为降低，也会间接造成设备的腐蚀，但是水份真正有害的作用是促进自由电子、离子崩和放电的产生，这往往就是造成断路器的不稳定和发生爆炸事故的重要因素。高压断路器触头在含有水份的SF6中发生电弧放电时，产生有潜在危险的化学物质，处理污染和电弧放电的SF6要求有一定的防范，因为有毒的化学气体和粉末可能引起过敏和危险。再者，水还会影响SF6的再复合过程，使工作人员在维护断路器时可能危及健康。因此，湿度的测量特别重要。设备投入运行后，检测湿度需待气室的湿度稳定后进行。因零部件吸附的水份向SF6气体扩散，使气室中水份增高，一般每三个月测一次，有时湿度下降，是由于设备内装有吸附剂的作用，过一段时间会保持稳定，此时1年测1次即可。但运行多年后，密封垫老化，瓷套与法兰的胶合部位会有渗漏，使大气中的湿度通过这些微孔向SF6气腔内扩散，使SF6气体中的水份增高。若发现超过标准或大量漏气时，需适当增加次数，必要时应用气体回收装置进行净化处理，直至合格并做好记录。有些设备容气量很小，密封性如果好，可适当延长检测周期。
关于含水量的标准，按《规程》规定要求如表1所示:
　　表1—SF6气体中水份含量要求值（ppm, V/V）

　　由于不同的仪器测量同一台设备可以得到不同的数据，有时差别较大，这可能除了与仪器本身的性能有关外，与所用的气体管路和操作等因素也有关，所以必须用同一台仪器测量，以保数据的可比性，有利于水份变化的趋势分析。气体中的水份含量与气温有关，一年之中水份随气温的升高而增加，所以应该在夏天测量湿度。此外，还有下面一些因素会影响测量的正确性，也应引起注意:
　　　1） 不同的气路材料、接头对湿度测量结果的影响较大，研究表明采用不锈钢管对湿度的干扰最小。
　　　2） 钢瓶的放置对测量的影响。钢瓶立放测得的湿度比30°角时要高，研究表明，要反映出SF6气体的真实含水量，应将气瓶倒立成30°角进行测量。
　　　3） 测量次数对测量的影响。应对同一气瓶中SF6气体进行多次测量。第一次测量的数值普遍要比后面测量数值高，其原因与气路、接头的干燥与否有关。因此在测试前，应对气路、接头进行干燥处理，否则不可测试。
　　　4） 仪器灵敏度对测量的影响。目前湿度测量仪的品种较多，测量结果的分散率也大。另一方面由于湿度仪在使用过程中灵敏度可能会下降，为使测定数据准确可靠，建议选用精度高的仪器，就可减少上述影响，像目前在电力系统中使用比较广泛的DP19-SH-III型SF6微水测量仪，就是比较理想的仪器。原电力部曾规定凡电力基建、生产、科研等单位应用的“湿度测量仪器”必须进行定期检定，经检验合格，才能使用。检验的有效期限为一年，以保证仪器的正常使用。
　　　5） 某些以阻容法、电解法为原理的仪器在多次测量经电弧作用过的SF6后其探头的灵敏度往往会降低，而以露镜法光学探测原理制造的仪器就避免了这种缺点。